多项选择题
A.按装方向自由B.控制器和泵体集成化C.高压缩比高背压D.采用磁浮轴承
A.可获得超、极高真空B.安装方向自由C.无油环境D.无噪音无振动
A.抑制异常放电B.正常放电恢复速度C.使用寿命D.维修速度
A.靶材B.纳米金属墨水C.不锈钢真空室D.玻璃观察窗
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