多项选择题
A.抑制异常放电B.正常放电恢复速度C.使用寿命D.维修速度
A.靶材B.纳米金属墨水C.不锈钢真空室D.玻璃观察窗
A.体积小B.惰性气体C.无污染D.容易驱散
A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D.降低故障风险
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