单项选择题
A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有关的常数值
A.浸渍提拉法B.旋覆法C.喷涂法D.等离子体法
A.结构简单B.镀膜速率慢C.基片温度低、损伤小D.靶材利用率高
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