单项选择题
A.是否需要水冷B.成本C.能耗D.坩埚与热源的相互运动情况
A.210mm×210mmB.156mm×156mmC.125mm×125mmD.100mm×100mm
A.450kg B.1000kg C.100kg D.250kg
A.PH3 B.PH5 C.POCl3 D.B2O3
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