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判断题

溅射淀积工艺的金属台阶覆盖要比蒸发淀积的台阶覆盖更好。（）

【参考答案】

正确

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单项选择题
液态TEOS源是采用载流气体鼓泡方式携带，例如N2、O2、He，而P1102.TEOS工艺是采用（）进入反应炉。

A.N2
B.O2
C.He
D.水浴饱和蒸汽
单项选择题
下列哪种工艺会使用到RF？（）

A.电镀
B.SOG
C.APCVD
D.PECVD
单项选择题
在硅片加工中可以接受的膜，以下不具备需要的膜特征（）

A.好的台阶覆盖能力
B.填充高的深宽比间隙的能力
C.好的厚度均匀性
D.高的膜应力
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