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多项选择题

Endura5500 degas腔的作用为（）。

A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却

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多项选择题
TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性
多项选择题
在线使用的靶材主要有（）。

A.AlSi
B.Ti/TiN
C.AlCu
D.纯Al
多项选择题
需要监控的参数包括（）。

A.膜的晶粒
B.膜的厚度
C.膜的均匀性
D.膜的反射率
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