多项选择题
A.汽相外延B.固相外延C.液相外延D.反相外延
A.寄生电容小B.速度快C.抗辐射能力强D.能抑制CMOS电路的闩锁效应
A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法
A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率
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