单项选择题
A.分辨率高B.复印面积大C.复印精度好D.以上都是
A.193nm和248nmB.190nm和240nmC.100nm和300nmD.200nm和300mm
A.避光的容器B.透明玻璃瓶C.透明塑料瓶D.坩埚
A.有更高的光刻分辨率B.具有较好的灵敏度C.对硅片有良好的粘附性D.对刻蚀有良好的阻挡性
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