单项选择题
A.有更高的光刻分辨率B.具有较好的灵敏度C.对硅片有良好的粘附性D.对刻蚀有良好的阻挡性
A.极紫外光刻B.X射线光刻C.电子束光刻D.紫外线光刻
A.紫外线B.电子束C.X射线D.红外线
A.光刻胶B.掩膜版C.曝光机D.晶圆
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