单项选择题
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）
A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）
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单项选择题
A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）
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