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单项选择题

CVD中起到冷却作用的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

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单项选择题
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）

A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）
单项选择题
相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）

A.刻蚀精度高
B.刻蚀速度高
C.运营成本低
D.更环保
单项选择题
CVD设备中内部有Robot的设备是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber
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