多项选择题
A.薄膜成分可控B.速度优于PVDC.黏附性好D.纯度高
A.CBEB.SEGC.UHVD.SPE
A.汽相外延B.液相外延C.分子束外延D.绝缘层上(外延)硅
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
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