单项选择题
A.CBEB.SEGC.UHVD.SPE
A.汽相外延B.液相外延C.分子束外延D.绝缘层上（外延）硅
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
A.替位式B.间隙式C.替位-间隙式D.跳跃式
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