多项选择题
A.电阻B.温度C.电流D.压强
A.薄膜真空规B.皮拉尼真空规C.热偶真空规D.电离真空规
A.膜厚分布均匀B.沉积速率较低C.薄膜纯度高D.原料浪费少
A.电子回旋共振B.直流电场C.微波耦合D.射频电场
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