CZ法提单晶的工艺流程。说明CZ法和FZ法。比较单晶硅锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点。

缩写中文含义
APCVD         
HDPCVD
LPCVD     
PECVD
PVD       
BJT
CD          
CMOS
CMP
MIC
ILD  
MBE
SOI     
DUV
MOCVD
BSG
PSG
BPSG
RTP
RTA
IC   
LOCOS
STI  
LI
VLSI
CA
FIB
ARC
ASIC
RIE
FIB
EUV
LDD