单项选择题
A.蓝宝石B.多晶硅C.单晶硅D.钻石
A.对厚度没有要求B.对掺杂的浓度没有要求C.杂质分布满足要求D.外延层中位错、层错、麻坑、雾状、缺陷、伤痕等都无所谓
A.VPEB.SSDC.GNDD.wuhu
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
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