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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员（三级）

单项选择题

早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

A.重离子加速器
B.热扩散炉
C.质子分析仪
D.轻离子分析器

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单项选择题
（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2
单项选择题
离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

A.分析器
B.扫描器
C.加速器
D.偏转器
单项选择题
Torr是指（）的单位。

A.真空度
B.磁场强度
C.体积
D.温度
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