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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员(三级)

单项选择题

()的气体源中一般包含H+,C+,B+,Cl+,O+等离子。

A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2

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