单项选择题

二氧化硅可以用作扩散掩蔽膜的原因是（）

A.杂质在二氧化硅中的扩散系数远小于其在硅中的扩散系数
B.杂质在二氧化硅中的扩散系数等于其在硅中的扩散系数
C.杂质硅中的扩散系数远小于其在二氧化硅中的扩散系数
D.杂质在二氧化硅中不扩散

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单项选择题

A.化学汽相沉积
B.原子层沉积
C.热氧化
D.以上都是

单项选择题

A.四个氧和一个硅
B.两个氧和两个硅
C.四个硅和一个氧
D.三个氧和一个硅

单项选择题

A.SHV
B.HHV
C.UHV
D.HLV