问答题
简答题
列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？
【参考答案】
优点：
1.刻蚀剖面是各向异性，具有非常好的侧壁剖面控制
2.好的CD控制。
3.最小的光......
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