问答题
简答题
列出在干法刻蚀中发生刻蚀反应的六种方法？
【参考答案】
1.对不需要刻蚀的材料的高选择比
2.获得可接受的产能的刻蚀速率
3.好的侧壁剖面控制
4......
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