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单项选择题

SPT设备内对Glass进行转载于搬送工具名称是（）

A.Shield
B.Carrier
C.Target
D.Clamp

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C.Coater
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A.对Glass表面进行化学清洗
B.对Glass表面进行普通水洗
C.对Glass进行干燥
D.破坏Glass表面有机物质，方便后续清洗
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Mask是在哪个step使用到的部件（）

A.Coater
B.Exposure
C.Develop
D.Oven
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