单项选择题
A.设备是否漏水 B.设备是否漏气 C.设备是否温度过高 D.Depo的膜是否RS良好
A.Shield B.Carrier C.Target D.Clamp
A.Cleaning B.Exposure C.Coater D.Reprocess
A.对Glass表面进行化学清洗 B.对Glass表面进行普通水洗 C.对Glass进行干燥 D.破坏Glass表面有机物质，方便后续清洗
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