问答题
简答题
解释硬烘烤的目的。光刻胶硬烘烤过度和不足会产生什么问题？
【参考答案】
目的：除去光刻胶内的残余溶剂、增加光刻胶的强度，并通过进一步的聚合作用改进光刻胶的刻蚀与离子注入的抵抗力。增强了光刻胶的......
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