问答题
简答题
软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？
【参考答案】
目的：将光刻胶从液态转变为固态，增强光刻胶在晶体表面的附着力。
使光刻胶含有5%-20%的残余溶剂。
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