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填空题
扩散系统主要有以下四部分组成：（）
【参考答案】
炉体与炉管、气体系统、温度和气源控制系统、装片系统
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填空题
扩散分布的主要测量方法有：（）。
填空题
扩散的目的是为了实现对半导体掺杂，杂质扩散的深度与（）有关，服从（）。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散，也（），和固定杂质总量扩散，也称（）。预淀积的分布是（）函数，再分布扩散的杂质呈（）函数分布。
填空题
半导体的中，（）称为费米能级；对本征半导体，费米能级位于（），表示（）。费米能级靠近导带，表示（），是（）型半导体；费米能级靠近价带，表示（），是（）型半导体。
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