填空题
扩散分布的主要测量方法有：（）。
【参考答案】
四探针测电阻率、扩展电阻测载流子分布、霍尔效应测电阻率、染色法测结深、二次离子质谱测杂质分布、卢瑟福背散射测重杂质分布
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