单项选择题
A.光源波长B.镜头质量C.刻蚀气体种类D.样品表面平整度
A.激光刻蚀B.干法刻蚀C.湿法刻蚀D.三者均可
A.真空泵B.气体流量计C.加热装置D.冷却装置
A.金属B.半导体C.绝缘体D.有机物
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