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多项选择题

切片是抛光片制备中一道重要的工序，因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数，即晶向、（）、（）、（）。

A.平行度
B.直径
C.翘度
D.厚度

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离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。

A.离子发生器
B.磁分析器
C.加速器
D.减速器
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A.超浅结
B.源漏注入
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A.修复晶格损伤
B.激活杂质
C.提高硬度
D.提高稳定性
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