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多项选择题
影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。
A.沉积温度的确定
B.反应混合物的选择
C.系统内总压和气体总流速
D.原材料的纯度
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判断题
相比于立式开口体系，应用卧式开口体系制备的薄膜均匀性更好。
判断题
相比于常压化学气相沉积，低压化学气相沉积成膜速率更快。
单项选择题
以下哪个化学气相沉积合成方法要求双温区？（）
A.氧化还原反应
B.化学合成反应
C.热分解反应
D.化学输运反应
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