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多项选择题
自蔓延高温合成法中着火的三种形式包括（）。
A.热自燃
B.点燃
C.化学自燃
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多项选择题
影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。
A.沉积温度的确定
B.反应混合物的选择
C.系统内总压和气体总流速
D.原材料的纯度
判断题
相比于立式开口体系，应用卧式开口体系制备的薄膜均匀性更好。
判断题
相比于常压化学气相沉积，低压化学气相沉积成膜速率更快。
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