多项选择题
A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水
A.离子源B.磁分析器C.加速管D.终端系统
A.扩散炉B.离子注入机C.加热平板D.对流烘箱
A.电阻丝B.电子束C.电子枪D.石墨
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