多项选择题
A.均匀性好B.图形保真度高C.选择比低D.洁净度高
A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水
A.离子源B.磁分析器C.加速管D.终端系统
A.扩散炉B.离子注入机C.加热平板D.对流烘箱
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