单项选择题
A.紫外线B.电子束C.X射线D.红外线
A.光刻胶B.掩膜版C.曝光机D.晶圆
A.外围切割B.内圆切割C.线距切割D.以上均可
A.电阻率B.直径C.少数载流子的寿命D.导电类型
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