单项选择题
A.极紫外光刻B.X射线光刻C.电子束光刻D.紫外线光刻
A.紫外线B.电子束C.X射线D.红外线
A.光刻胶B.掩膜版C.曝光机D.晶圆
A.外围切割B.内圆切割C.线距切割D.以上均可
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