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单项选择题

PECVD主要利用的是（）区域。

A.正离子柱区
B.法拉第暗区
C.阳极辉光
D.阴极辉光

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单项选择题
PECVD所使用的主要原料是（）。

A.SiHCl3
B.SiO2
C.Si
D.SiH4
单项选择题
α-Si指（）。

A.微晶硅
B.多晶硅
C.单晶硅
D.非晶硅
单项选择题
与光致衰减效应联系最紧密的元素是（）。

A.O
B.C
C.B
D.H
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