多项选择题
A.原子分子发射光谱B.吸收光谱C.光干涉D.目视观察
A.电离气体分子B.接受气体离子C.给电离子加速D.测试气体离子
A.部品（配线和线架）可削减B.配线整理作业可削减C.指定配线等的管理工数部品在库数可削减D.不只是设备侧的远程控制、也可进行本地操作
A.按装方向自由B.控制器和泵体集成化C.高压缩比高背压D.采用磁浮轴承
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