问答题
简答题
举例说明用于微电子器件制造的主要衬底材料类型。
【参考答案】
微电子器件的衬底材料主要有三种：
（元素）半导体（硅，锗）；
化合物半导体（砷化稼，磷化稼，磷化铟）......
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