单项选择题
减薄机的砂轮轴向进给速度是指()。
A.砂轮旋转的速度,一般以每分钟所转圈数表示
B.砂轮按旋转轴的方向,向下移动的速度
C.晶圆旋转的速度,也就是载台的转速
D.晶圆每转一圈去除的硅厚度
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单项选择题
A.砂轮旋转的速度,一般以每分钟所转圈数表示
B.砂轮按旋转轴的方向,向下移动的速度
C.晶圆旋转的速度,也就是载台的转速
D.晶圆每转一圈去除的硅厚度
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