单项选择题
A.蒸镀 B.溅射 C.离子注入 D.CVD
A.LPCVD B.PECVD C.CVD D.PVD
A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
A.形成晶核 B.晶粒成长 C.晶粒凝结 D.缝道填补 E.沉积膜成长
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