单项选择题
A.LPCVD B.PECVD C.CVD D.PVD
A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
A.形成晶核 B.晶粒成长 C.晶粒凝结 D.缝道填补 E.沉积膜成长
A.粒子扩散 B.从气体源通过强迫性的对流传送 C.化学反应 D.被表面吸附 E.静电吸引
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