填空题
浅结制备的常用方法是：（）、（）加（）。而（）型浅结比（）型浅结更难制备。P型浅结常用（）、（）、（）来获得。
【参考答案】
降低注入离子能量；分子离子注入；快速热退火；P；n；BF2+离子替代B+注入；降低B+注入能量；硅注入表面预非晶化
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