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多项选择题

关于共振隧穿器件下列哪种说法准确（）

A.器件为量子点结构
B.器件功耗较高
C.常采用BME制备的超晶格结构
D.是基于量子隧穿效应工作的高速器件

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A.等离子体刻蚀>离子铣>RIE
B.离子铣>等离子体刻蚀>RIE
C.离子铣>RIE>等离子体刻蚀
D.RIE>离子铣>等离子体刻蚀
多项选择题
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A.磁控溅射
B.电子束蒸镀
C.CBE
D.MBE
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