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全部科目 > 大学试题 > 工学 > 电子与通信技术 > 半导体集成电路

问答题

简答题

明两步扩散法的基本思想,及其每一步工艺的主要特点和目的。

【参考答案】

第一步:恒定表面浓度的扩散(预沉积扩散Pre-deposition);
目的:控制掺入的杂质总量;
......

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