多项选择题
A.导体材料 B.静电消除材料 C.塑料 D.铁制品
A.水 B.电 C.气 D.不需要动力
A.6寸 B.8寸 C.5寸 D.4寸
A.消除静电 B.吹干晶圆表面的水 C.吹掉晶圆表面的硅渣 D.用于清洁清洗机
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