单项选择题
A.溅射物理气相沉积 B.蒸发物理气相沉积 C.等离子增强化学气相沉积 D.低压化学气相沉积
A.扩散 B.化学机械抛光 C.刻蚀 D.离子注入
A.刻蚀 B.离子注入 C.光刻 D.金属化
A.P+、P+ B.P+，N+ C.N+，N+ D.N+，P+
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