单项选择题
A.钛、钽、铜、铝、铂B.钛、钽、铝、铜、铂C.钛、钽、铝、铜、金D.钛、钽、铝、铜、银
A.VPEB.CVDC.PVDD.LASER
A.排出-反应-扩散B.转移-介吸-反应-扩散C.输送-扩散-吸附-反应-介吸-转移-排出D.反应-吸附-转移
A.APCVDB.LPCVDC.PEPVDD.LCVD
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