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问答题

简答题

试述曝光时间对设计的图形的影响。

【参考答案】

曝光时间对设计图形的影响主要是:若曝光时间较长,对于正性光刻胶则得到的图形实际尺寸比预先设计的可能要小;对于负性光刻胶情......

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