单项选择题
A.元器件的组成部分（如栅氧化层）B.源漏极C.互连层间绝缘介质D.作为掩蔽膜
A.几何设计规则是版图图形编辑的依据B.几何设计规则是设计系统生成版图的依据C.几何设计规则是分析计算的依据D.几何设计规则是检查版图错误的依据
A.粘附性B.刻蚀温度C.刻蚀时间D.刻蚀槽的高度
A.特征尺寸越来越小B.晶圆尺寸越来越小C.电源电压越来越低D.时钟频率越来越高
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