多项选择题
A.不受固溶度限制B.精确的剂量控制C.掺杂深度小D.均匀性好
A.外观平整B.成本较低C.光亮度高D.对环境的污染小
A.分子型杂质B.质子型杂质C.离子型杂质D.原子型杂质
A.形状、尺寸、厚度B.导电类型C.晶向、位错、寿命D.电阻率
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